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氣浮隔振光學平台

氣浮隔振光學平台:其隔振支撐采用二層氣囊隔離(lí),高阻尼小(xiǎo)孔,隔振性能良好,穩定輕松調節,結構穩定可靠,自動平衡,自動充氣,全部氣動執行元件,采用知(zhī)名合資(zī)氣動品牌産品,可選配進口氣動元件。

 

技術指标:

自動平衡精密隔振光學平台

平面度:0.1mm/1000mmX1000mm

平衡方式:空氣彈簧氣墊隔離(lí),3個真空管水平調節閥自動平衡

表面粗糙度:小(xiǎo)于0.8微米

固有頻(pín)率:垂直:1.22.0Hz;水平:1.52.0Hz

水平複位精度:±0.10mm 

工(gōng)作條件:37kg/cm2壓縮空氣或氮氣瓶