氣浮隔振光學平台:其隔振支撐采用二層氣囊隔離(lí),高阻尼小(xiǎo)孔,隔振性能良好,穩定輕松調節,結構穩定可靠,自動平衡,自動充氣,全部氣動執行元件,采用知(zhī)名合資(zī)氣動品牌産品,可選配進口氣動元件。
技術指标:
● 自動平衡精密隔振光學平台
● 平面度:0.1mm/1000mmX1000mm
● 平衡方式:空氣彈簧氣墊隔離(lí),3個真空管水平調節閥自動平衡
● 表面粗糙度:小(xiǎo)于0.8微米
● 固有頻(pín)率:垂直:1.2~2.0Hz;水平:1.5~2.0Hz
● 水平複位精度:±0.10mm
● 工(gōng)作條件:3~7kg/cm2壓縮空氣或氮氣瓶